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半導體工業特種氣體應用分類

  來源:www.donaldgraves.org
  特種氣體的種類有很多,主要有電子氣體,標準氣,環保氣,醫用氣,焊接氣,殺菌氣等,特種氣體還是光電子、微電子等領域,特別是在超大的規模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率,并且從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性。
  半導體工業用氣體品種多、質量要求高、用量少,大部分是有毒或腐蝕性氣體。品種高達百余種。半導體工業特種氣體應用分類,主要包括:
  1.硅族氣體:含硅基的硅烷類,如硅烷、二氯二氫硅、乙硅烷等。
  2.摻雜氣體:含硼、磷、砷等三族及五族原子之氣體,如三氯化硼、三氟化硼、磷烷、砷烷等。
  3.蝕刻清洗氣體:以含鹵化物及鹵碳化合物為主,如氯氣、三氟化氮、溴化氫、四氟化碳、六氟乙烷等。
  4.反應氣體:以碳系及氮系氧化物為主,如二氧化碳、氨、氧化亞氮等。
  5.金屬氣相沉積氣體:含鹵化金屬及有機烷類金屬,如六氟化鎢、三甲基鎵等。

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